日本filmetrics 3D 表面形状测量系统Profilm 3D
它是一个使用白光干涉技术的系统，可以无接触地测量包括台阶和粗糙度在内的三维形状。
Profilm 3D 适用于测量小样品，涵盖了测量 3D 形状所需的所有功能，并且比传统产品更紧凑、更便宜。
各种测量模式，包括适合高精度测量微米级台阶和形状的垂直扫描干涉测量法 (WLI) 和适合测量纳米级形状和粗糙度的相移干涉测量法 (PSI)。包括标准步骤样品在内的一切都是标准设备，包括用于放大物镜的左轮、自动载物台以及便于操作、分析和管理测量数据的软件。
日本filmetrics 3D 表面形状测量系统Profilm 3D
| 半导体 | 晶圆凸块、CMP焊盘等 |
|---|---|
| 医疗领域 | 注射针、人工关节、支架等 |
| 安装板 | 铜线、凸点、透镜等 |
| 垂直扫描白光干涉测量法 (WLI) | 相移干涉测量 (PSI) | |
|---|---|---|
| 测量范围 | 50 纳米 – 10 毫米 | 0 – 3 微米 |
| 准确性 | 0.7% | —— |
| 再现性 | 0.1% | —— |
| 反射范围 | 0.05% – 100% | 0.05% – 100% |
| XY自动载物台 | 100mm x 100mm |
|---|---|
| Z轴驱动范围 | 100mm |
| 压电驱动范围 | 500微米 |
| 扫描速度 | 12微米/秒 |
| 相机 | 2592 x 1944（500 万像素） |
| 体重 | 15公斤 |
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