氧气浓度检测仪在半导体制造过程中的重要性
检测部分采用稳定氧化锆陶瓷的便携式氧气计。 这是一个集成传感器、控制单元、流量计、泵和过滤器。
1.与先前型号（TB-FI系列）相比重量减轻
（EZY：4.3kg/先前型号：6.0kg）
2.根据用途可选择颜色变化（红、绿、蓝）
3.平滑的温度控制可实现稳定的测量（减少波动）
4.传感器多层保护，耐腐蚀，使用寿命长（保修2年）
| 模型 | EZY-1-G | EZY-1-R | EZY-1-B | EZY-2-G | EZY-2-R | EZY-2-B |
| 颜色 | 绿色的 | 红色的 | 蓝色的 | 绿色的 | 红色的 | 蓝色的 |
| 类型 | 无采样泵 | 带采样泵 | ||||
| 原则 | 氧化锆陶瓷电化学电池 | |||||
| 作品 | SS盒、TB传感器、C-301控制单元、带针阀的流量计等。 | |||||
| 测量范围 | 1ppm～100% O2 | |||||
| 展示 | %: 0~99.99%O2 ppm : 0~ 9999ppmO2 | |||||
| 输出 | 4~20mADC（隔离） 0~1VDC、0~5VDC、0~10VDC（隔离，选其一） RS-232C 继电器接点：3点（A接点），集电极开路输出：2点（以下可任意分配） 浓度报警：Hi/Lo、HHi/Hi 或 Lo/LLo（LCD 显示） 传感器异常（故障）报警：加热器、RTD断线（LCD显示） 预热完成信号 范围回复 | |||||
| 接点输入 | 远程校准变送输出（电压/电流） 保持远程量程切换 | |||||
| 量程切换 | 自动/手动/远程 | |||||
初始设置 | 0~25.00%O2 / 0~ 9999ppmO2 | |||||
| 样本吸取 | 样品压配合 | 内置泵抽吸 | ||||
| 样品压力 | 高达 2 个大气压 | |||||
| 漂移线性重复性 响应速度 管道连接 样品流速 样品温度 预热时间 电源 配件 | ±2%FS 以内/周 ±1%FS 或 ±1ppm 以内，以较大者为准 在 ±1%FS 或 ±1ppm 以内，以较大者为准 10秒内90%响应（如果向高浓度侧摆动） RC1/4 0.2～2L/分钟 最高60℃ 约20分钟 免费电源（85-260VAC） 电源线3m | |||||
