lintec直接汽化法的基本原理及产品特点分析

lintec直接汽化法的基本原理及产品特点分析

由于汽化浓度的元素由MFC直接控制，因此具有优异的稳定性，可实现高浓度汽化，难以鼓泡。

特点

• 热控制点少

• 由于流量直接控制，因此具有出色的精度和稳定性

• 即使在减压和常压条件下也可以提供汽化

• 能够汽化和供应大流量

汽化器产品一览

载气蒸发器

一种蒸发器，用于加热流量控制的液体和载气，以降低液化气的分压比并提供稳定的汽化供应。

迷你蒸发器 VU-206

• 最大 H2O 汽化量：0.5 克/分钟

• 最大TEOS汽化：0.7克/分钟

• 最高加热温度：160°C

高效蒸发器 VU-430

• 最大 H2O 汽化量：1.0 克/分钟

• 最大TEOS汽化：10克/分钟

• 最高加热温度：200°C

高效蒸发器 VU-450

• 最大 H2O 汽化量：5g/min

• 最大TEOS汽化：20克/分钟

• 最高加热温度：200°C

高温高效汽化器 VU-550

• 最大 H2O 汽化量：5g/min

• 最大TEOS汽化：20克/分钟

• 最高加热温度：300°C

高效蒸发器 VU-440

• 最大 H2O 汽化量：5g/min

• 最大TEOS汽化：30克/分钟

• 最高加热温度：200°C

高温高效大流量汽化器 VU-462

• 最大 H2O 汽化量：15g/min

• 最大TEOS汽化：50克/分钟

• 最高加热温度：300°C

轻接触式蒸发器 VU-900

• 最大 H2O 汽化量：7g/min

• 最高加热温度：200°C

石英汽化器 QV-1000

• 最大 H2O 汽化量：15g/min

• 最高加热温度：200°C

非载体蒸发器

一种无载体非载体汽化器，可实现连续汽化，压力波动很小。

低流量非载波蒸发器 VU-3100

• 最大TEOS汽化：5克/分钟

• 最高加热温度：150°C

非载气蒸发器 VU-3000

• 最大 H2O 汽化量：5g/min

• 最高加热温度：200°C

相关产品

液体汽化供应装置

温度控制单元

加热过滤器

蒸发器功能和选项

高效汽化

文丘里效应发生在具有液体流量控制和载气喷嘴的双流体喷嘴上。 通过将液滴喷射到正下方的汽化室中，我们实现了稳定和连续的液体供应到汽化室，即使在微小的流速下也会变成液滴。 通过接触来自汽化室和汽化室侧面的辐射热，可以高效地蒸发小型化雾。

微流速汽化

微订单微流量控制非常精细。 因此，对于调节流量的控制阀，需要可以精细设置的压电陶瓷促动器，并且需要从控制单元到汽化室的死体积较小的控制阀。

最高工作温度 300°C

对于CVD和ALD，有许多汽化和供应沸点为200°C或更高的有机金属化合物以及低蒸气压的要求。 林泰开发了一种兼具可维护性和耐热性的蒸发器，采用Au密封和隔热结构。

可维护性

汽化器的寿命在很大程度上取决于材料的物理性质和纯度。 因此，根据汽化原料的不同，需要定期维护。 它在设计时考虑了Lintec的蒸发器可维护性，以降低维护成本。

阀门接近结构

本产品在汽化室附近有一个液体流量控制阀。 根据液体质量流量计的流量信号控制紧邻汽化器的控制阀。 由于引入汽化室的流速受到控制，因此死体积小，汽化响应也得到改善。

多液流量控制阀

通过在汽化室附近安装多个液体流量控制阀，可以同时或交替地将单独的液体引入汽化室并蒸发。

无阀结构

这是一种汽化器，不会在汽化室附近安装液体流量控制阀。 它可以与您现有的液体流量控制器或不需要C.F.的科里奥利液体质量流量控制器一起使用。

高流量汽化

为了最大限度地发挥辐射热的效果，我们通过使汽化室长而具有的结构，实现了大流量汽化。

节省空间

紧凑型蒸发器，表面间距为 78 mm。 节省空间的设计，即使与质量流量计串联使用，表面间距也为 203 mm。