lintec液体质量流量控制器原理及产品特点
液体质量流量控制器是气体质量流量的自动控制仪器，液体质量流量计是测量液体质量流量的仪器。
质量流量控制器利用热容量和流量控制阀的PID控制，通过质量流量测量原理调节开度，自动控制质量流量。
LINTEC的液体质量流量（质量流量控制）是液体质量流量控制的先驱，它是为响应半导体行业对TEOS等液体汽化供应技术的需求而在开发的。
液体的流量测量包括体积流量和流速测量，从精度和稳定性的角度来看，具有微小流量的液体质量流量控制器（质量流量控制）已成为半导体成膜过程中不可缺的技术。
在半导体制造过程中，在价格和处理能力上优于气体的TEOS等液体源被蒸发并沉积薄膜。 在制造工艺方面，供应量很大，许多最新的原材料都是低蒸气压的材料。 在传统的燃气MFC焙烧方法中，供应量和耐热温度是瓶颈，因此需要温度约束少且供应量大的直接汽化方法。 但是，在直接汽化方法中，反应气体的流速控制在液相中，因此小误差会极大地影响反应。
以H 2 O为例，当1ml液相在理想状态下汽化时，膨胀到1，244ml。 它已成为半导体制造设备不可缺的技术，当需要对微小流量进行高精度流量控制时，它控制液体流速并汽化和反应。
1 ml/min 或更低的流量控制装置包括计量泵，但计量泵连续执行机械开关操作，这会导致脉动。 没有机械开关的注射泵不会脉动，但泵的体积有限，因此不适合连续进料。
此外，当将液体引入具有受控流量的真空装置时，由于计量泵的压差，流量无法稳定。
液体质量流量控制器的流量控制是将加压到恒定压力的液体如气体引入液体质量流量控制器中，用内部流量传感器检测瞬时流量，并不断控制阀门开度，使流量无论二次侧减压还是大气压都能控制在恒定水平。
特点：微流液体测量，PID控制信号（带汽化器和CV设置），金属密封，清洁
可选：高温
特点：微流液体控制，金属密封，清洁
长处：无需 C.F.，高流量液体控制，清洁
特点：比例电磁阀，金属密封，清洁
上一篇：如何使用质量流量控制器？
